EUV 光罩傳載解決方案
全自動EUV POD 表面檢查機/EUV光罩側邊檢查機
機台功能
應用於EUV POD-EIP表面缺陷檢查功能,利用影像拍攝EIP 上蓋/下蓋,自動檢驗表面缺陷或微塵,有助於EIP品質管理。
- 支援EUV POD載具開盒
- 檢查EUV POD (EIP)上蓋與下蓋
- 整合AI影像辨識功能,針對缺陷檢查結果進行分類
- 支援E84天車傳送
- SECS/GEM 200/300
- 機台認證:SEMI S2 & 耐震驗證
EUV Lite Exchanger
機台功能
提供EUV光罩在載具間自動化交換、存取與儲存,支援連續充氣功能(N2充氣),確保EUV光罩儲存品質與潔淨度。
- 每個儲位獨立充氣及流量控制
- 支援OHT傳送(SEMI E84)
- SECS/GEM 200/300
- 機台認證:SEMI S2 & 耐震驗證
EUV光罩交換機
機台功能
使用於RSP200光罩盒與EUV光罩盒間交換
- 支援POD RFID及BARCODE自動讀取功能
- 六軸節式手臂,可做多角度及萬向動作
- 光罩影像拍照功能
EUV光罩清潔機
機台功能
真空吸塵及XCDA風刀吹氣清潔
- 光罩正/反面清潔
- 1D/2D Barcode auto read
- SECS/GEM 200/300
- 機台認證:SEMI S2 & 耐震驗證